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（起原：IT之家）
IT之家 11 月 26 日讯息，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）昨日秘书：公司自主研发的首台 350nm 步进光刻机（AST6200）老成完成出厂调试与验收，启航发往客户现场。
芯上微装示意，这符号着我国在高端半导体光刻建设范畴再次达成要害冲破！这不仅是一次居品的托付，更是国产半导体装备向高端化、自主化迈进的迫切里程碑。
据官方先容，AST6200 光刻机是芯上微装基于多年光学系统盘算、精密勾通收尾与半导体工艺相识积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻建设，专为功率、射频、光电子及 Micro LED 等先进制造场景量身定制。
▲ 芯上微装首台 350nm 步进光刻机（AST6200） 中枢肠能亮点
高分手率成像得志先进工艺需求，搭载大数值孔径投影物镜，鸠集多种照明模式与可变光瞳期间，达成 350nm 高分手率，得志刻下主流化合物半导体芯片的光刻工艺条件。
高精度套刻树立高精度瞄准系统，达成正面套刻 80nm，后面套刻 500nm，确保多层图形精确套刻，擢升器件良率。
高产率盘算，权贵镌汰领有老本（COO）：
强工艺妥当性，兼容多材质、多花式基底：
100% 软件自主可控打造全栈国产生态：AST6200 搭载芯上微装自主研发的全栈式软件收尾系统，从底层启动到表层工艺惩办ky体育app最新版下载，达成统共自主主权，且具备庞杂的工艺膨胀性与而已运维能力。
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